用于分析和测量光束和聚焦光斑的光学参数的测量分析仪。它由光学指向单元、光学衰减单元、热处理单元和光学成像单元组成。它还配备软件分析功能并提供测试报告。
（1）焦深范围内各项指标（能量分布、峰值功率、椭圆率、M2、光斑尺寸）动态分析；
(2) 波长响应范围宽，从紫外到红外（190nm-1550nm）；
(3)多点、定量、操作方便；
(4) 平均功率500W的高损伤阈值；
(5)超高分辨率可达2.2um。
用于单光束或多光束以及光束聚焦参数测量。
| 模型 | FSA500 |
| 波长(nm) | 300-1100 |
| NA | ≤0.13 |
| 入瞳位置光斑直径（mm） | ≤17 |
| 平均功率(W) | 1-500 |
| 感光尺寸(mm) | 5.7x4.3 |
| 可测光斑直径(mm) | 0.02-4.3 |
| 帧率(fps) | 14 |
| 连接器 | USB 3.0 |
可测试光束的波长范围为300-1100nm，平均光束功率范围为1-500W，待测聚焦光斑直径范围最小为20μm至4.3mm。
使用过程中，用户移动模块或光源寻找最佳测试位置，然后使用系统内置软件进行数据测量和分析。软件可以显示光斑横截面的二维或三维强度分布拟合图，还可以显示光斑在二维或三维截面的大小、椭圆度、相对位置、强度等定量数据- 维度方向。同时可以手动测量光束M2。
